源表级多通道气敏测试平台
全自动触摸屏测量仪
全自动复合式影像测量仪
2.5D影像测量仪
源表级多通道气敏测试平台SMP-4
高精度源表采集每个通道的电压或电阻信号，电压精度mV级。
创新性的采用功率法程控加热，保证每个器件工作温度稳定一致。
G 欧姆级电阻采集，匹配电阻1K—1G 欧姆通过测试软件一键切换。
样品测试板可定制，可升级，兼容陶瓷管、平面叉指、MEMS等器件。
标配20L测试腔，配气ppb级；标配有0.4L小型测试腔，配气几百ppm；选配动态微型腔。
3D探针影像测量仪
测量投影仪
卧式测量投影仪
三次元测量仪
3D探针影像测量仪
X*Y*Z:150*100*150/200*100*150/250*150*150/300*200*150/400*300*150/500*300*150.
量测工件无需调节摆正，坐标平移、旋转、摆正
直接在影像及几何区标注/移动尺寸。直线修剪、延伸功能
几何区点、线、圆/圆弧及直线端点、中点，圆心、象限点自动捕捉
调节CCD参数设定，提高自适应力;去除毛边功能，以正确取得量测数据
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